SISTEMA, E, MÉTODOS PARA FABRICAR E PARA FORMAR UM DISPOSITIVO DE PELÍCULA ÓTICA FINA

IPC Classification

Abstract

SISTEMA, E, MÉTODOS PARA FABRICAR E PARA FORMAR UM DISPOSITIVO DE PELÍCULA ÓTICA FINASão providos sistemas e métodos de controle de uma taxa de deposição durante a fabricação de película fina. Um sistema, tal como provido, pode incluir uma câmara, uma fonte de material contido no interior da câmara, um componente elétrico para ativar a fonte de material, um suporte de substrato para apoiar o empilhamento de multicamadas e pelo menos uma amostra testemunha. O sistema pode adicionalmente incluir um dispositivo de medição e uma unidade computacional. A fonte material provê uma camada de material para a pilha de camadas múltiplas e para a amostra testemunha a uma taxa de deposição controlada, pelo menos parcialmente, pelo componente elétrico e com base em um valor de correção obtido em tempo real pela unidade computacional. Em algumas modalidades, o valor de correção está baseado em um valor medido provido pelo dispositivo de medição e um valor calculado provido pela unidade computacional, de acordo com um modelo.