MÉTODO E SISTEMA DE FABRICAÇÃO DE UM ELEMENTO INTEGRADO COMPUTACIONAL

IPC Classification

Abstract

As técnicas incluem receber um projeto de um elemento computacional integrado (ICE) que incluem a especificação de um substrato e múltiplas camadas, suas espessuras alvo respectivas e índices reflexivos complexos, em que os índices reflexivos complexos das camadas adjacentes são diferentes uns dos outros e um ICE nocional fabricado com base no projeto de ICE sendo relacionado a uma característica de uma amostra; formar pelo menos algumas das camadas de uma pluralidade de ICEs de acordo com o projeto de ICE, em que as camadas de ICEs são movidas ao longo de uma direção de movimento durante a formação; medir as características da sonda de luz que interagem com as camadas de ICEs formadas de tal modo que as características de medida sejam espacialmente resolvidas ao longo de uma primeira direção ortogonal em relação à direção de movimento; determinar, com base nas características espacialmente resolvidas, índices refrativos complexos e espessuras das camadas de ICE formadas como uma função da localização dos ICEs ao longo da primeira direção; ajustar o formação com base nas determinações.