Invention Patent DISPOSITIVO DE BOMBARDEIO DE ÍONS E MÉTODO PARA UTILIZAÇÃO DO MESMO PARA LIMPAR SUPERFÍCIE DE SUBSTRATO de KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.) — IPC C23C 14/02. Drawing published by the INPI in the Industrial Property Gazette.
The application was abandoned: the INPI technical office action was not answered in time (art. 36 of the Brazilian IP Act). The technology is in the public domain in Brazil.
RESUMODISPOSITIVO DE BOMBARDEIO DE ÍONS E MÉTODO PARA UTILIZAÇÃO DO MESMO PARA LIMPAR SUPERFÍCIE DE SUBSTRATOÉ fornecido um dispositivo de bombardeio de íons (1) para estabilização e limpeza da superfície de um substrato. O dispositivo é fornecido com o seguinte: uma câmara de vácuo (2); pelo menos um eletrodo (3) que é disposto sobre a face da parede interior da câmara de vácuo (2) e emite elétrons; uma pluralidade de anodos (4) que recebem os elétrons a partir do eletrodo (3) e que são dispostos de modo a enfrentar o eletrodo com o substrato ensanduichado entre os mesmos; e uma pluralidade de fontes de potência de descarga (5) correspondentes aos anodos (4), respectivamente. Cada uma das fontes de potência de descarga (5) é isolada a partir da câmara de vácuo (2) e fornece para o anodo (4) correspondente à fonte de potência de descarga relevante (5) correntes e tensões que podem ser ajustadas independentemente umas das outras, gerando assim uma descarga luminescente entre tal anodo (4) e o eletrodo (3).
Prosecution history
Publications in the Brazilian Industrial Property Gazette (RPI).
Arquivamento - Art. 36 §1° da LPI
#11.2
02/04/2020
RPI 2561
Retificação da notificação da fase nacional - PCT
#1.3.1
Retificação para inclusão de inventor.
11/12/2019
RPI 2549
Exigência preliminar
#6.21
10/22/2019
RPI 2546
Notificação de acesso ao patrimônio genético
#6.6.1
02/27/2018
RPI 2460
Notificação de entrada na fase nacional - PCT
#1.3
Publicação automática da admissibilidade da fase nacional depositado via PCT . Tratado de cooperação em matéria de Patentes, conforme Instrução Normativa nº 02, de 06/06/2017 publicada na RPI nº 2422, de 06/06/2017.
