APARELHO DE REVESTIMENTO A VÁCUO

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Abstract

APARELHO DE REVESTIMENTO A VÃCUO.à proposto um aparelho de revestimento a vácuo que deposita um revestimento sobre um substrato, incluindo o aparelho de revestimento a vácuo: uma câmara de vácuo; uma unidade de exaustão de vácuo que executa uma operaçãode exaustão de vácuo no interior da câmara de vácuo; uma multiplicidade de unidades de fixação de rotação que fixam o substrato como um objeto de revestimento em um estado rotativo; e um mecanismo de revolução que faz revolver a multiplicidade de unidades de fixação de rotação ao redor de um eixo de revolução paralelo aos eixos de rotação das unidades de fixação de rotação respectivas; sendo que a multiplicidade de unidades de fixação de rotação é dividida em uma multiplicidade de grupos de modo tal, que seja fornecida corrente à s unidades de fixação de rotação respectivas de um modo tal, que as unidades de fixação de rotação dos grupos respectivos tenham potenciaisdiferentes. Os grupos respectivos, por exemplo, repetem alternadamente um estado em que as unidades de fixação de rotação se transformam em catodos e servem como eletrodos funcionais que representem um papel primário na geração do plasma de descarga de luminescência e um estado em que asunidades de fixação de rotação servem como contra-eletrodos.