CALIBRAÇÃO DE UMA SONDA EM PTICOGRAFIA

IPC Classification

Priority claims

Abstract

CALIBRAÇÃO DE UMA SONDA EM PTICOGRAFIA. A presente invenção refere-se a um método de provisão de dados de imagem para a construção de uma imagem de uma região de um objeto-alvo, compreendendo a provisão de um padrão de difração de referência de um objetivo-alvo de referência; a determinação de uma estimativa inicial para uma função de sonda com base no padrão de difração de referência; e a determinação, por meio de um processo interativo com base na estimativa inicial para a função de sonda e em uma estimativa inicial para uma função de objeto, dos dados de imagem para um objetivo-alvo responsivo a uma intensidade de radiação detectada por pelo menos um detector.