Fonte de evaporação por arco tendo alta velocidade de formação de película, método da fabricação de película de revestimento e aparelho de formação de película usando a fonte de evaporação por arco

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Abstract

FONTE DE ARCO DE EVAPORAÇÃO COM VELOCIDADE RÁPIDA DE FORMAÇÃO DE PELÍCULA, DISPOSITIVO DE FORMAÇÃO DE PELÍCULA E MÉTODO DA FABRICAÇÃO DE PELÍCULA DE REVESTIMENTO USANDO A FONTE DE ARCO DE EVAPORAÇÃO. É revelad uma fonte de arco de evaporação tendo um rápido formado de filme. A fonte de arco de evaporação revelada (1) é fornecida com: pelo menos um imã de circunferência (3) tal que circunda a circunferência do alvo (2), e que colococada de modo que a direção da magnetização do imã corra ao longo da direção ortogonal da superfície do alvo (2); um primeiro imã permanente de forma nao circular (4A) que é colocado na superfície traseira do alvo (2), tem polaridade na mesma direção conforme a polaridade do imã de circunferência (3), e é colocado de modo que a direção de magnetização do mesmo percorra ao longo da direção ortogonal para a superfície do alvo (2); o segundo imã permanente de formato não circular (4B)que é colocado ou na superfície traseira do primeiro imã permanente (4A) ou entre o primeiro imã permanente (4A) e o alvo (2), de modo a deixar um espaço entre o primeiro imã permanente (4A), e que te a polaridade na mesma direção que a polaridade do imã de circunferência (3), e está disposto de modo que a direção de magnetização do mesmo corre ao longo da direção ortogonal da superfície do alvo (2), e um corpo magnético (5), que está disposta entre o primeiro imã permanente (4A) e o segundo imã permanente (4B).