DISPOSITIVO E UTILIZAÇÃO DE UM DISPOSITIVO DE TRATAMENTO DE SUPERFÍCIE DE UM SUBSTRATO POR DESCARGA COM BARREIRA DIELÉTRICA E UM PROCESSO PARA O DEPÓSITO DE UMA CAMADA SOBRE UM SUBSTRATO INORGÂNICO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

PROCESSO E DISPOSITIVO DE POLARIZAÃÃO DE UM ELETRODO DBD.A invenção se refere a um dispositivo de tratamento de superfície de um substrato por descarga com barreira dielétrica, permitindo a geração de plasma filamentar, compreendendo uma câmara de reação, que comporta uma mistura, cuja composição é tal que, em contato com o plasma, se decompões e engendra espécies aptas a se depositarem em camada em grande parte ou na totalidade sobre o substrato, câmara na qual são colocados pelo menis dois eletrodos, dos quais um é levado à alta tensão AC, disposta de ambos os lados do substrato, pelo menos uma barreira dielétrica (DBD) colocada entre pelo menos esses dois eletrodos, e um transformador THT/HF, que comporta um circuito secundário, no qual uma fonte de corrente contínua (DC) é intercalada em série no circuito secundário, de forma tal que espécies químicas geradas no plasma sob formas de íons eletricamente positivos ou negativos sejam seletivamente atraídas pelo substrato alvo, o qual é introduzido na câmara de reação e colocado entre pelo menos os dois eletrodos, e empurrados pelos eletrodos de carga correspondente.