CÂMARA DE TRATAMENTO A VÁCUO COM DISPOSIÇÃO DE BOBINA PARA ESTABELECIMENTO DE UM CAMPO MAGNÉTICO E INSTALAÇÃO DE TRATAMENTO A VÁCUO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

Patente de Invenção: SISTEMA DE BOBINA PARCIAL PARA SIMULAÇÃO DE BOBINAS CIRCULARES PARA DISPOSITIVOS A VÁCUO. A presente invenção refere-se a uma câmara de tratatamento a vácuo com disposição de bobina para estabelecimento de um campo magnético na câmara, compreendendo a disposição de bobina ao menos uma primeira bobina parcial e uma segunda bobinal parcial, sendo que a primeira bobina parcial e a segunda bobina parcial ficam de tal maneira lado a lado em seção transversal, de preferêncial em um plano, que ao menos respectivamente um segmento parcial da primeira bobina acompanha essencialmente o curso de um segmento parcial da segunda bobina, sendo a distância do primeiro segmento parcial do segundo segmento parcial ao menos uma ordem de grandeza menor do que a seção transversal da eventualmente menor bobina parcial.