PROCESSO DE OBTENÇÃO DE UM SUBSTRATO REVESTIDO SOBRE PELO MENOS UMA PARTE DE SUA SUPERFÍCIE DE PELO MENOS UMA CAMADA DE ÓXIDO DE UM METAL E SUBSTRATO OBTIDO POR TAL PROCESSO

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Abstract

PROCESSO DE OBTENÃÃO DE UM SUBSTRATO REVESTIDO SOBRE PELO MENOS UMA PARTE DE SUA SUPERFÃCIE DE PELO MENOS UMA CAMADA DE ÃXIDO DE UM METAL E SUBSTRATO.A invenção tem por objeto um processo de obtenção de um substrato revestido sobre pelo menos uma parte de sua superfície de pelo menos uma camada de óxido de um metal M cuja espessura física é inferior ou igual a 30 nm, a dita camada de óxido não estando compreendida em um empilhamento de camadas compreendendo etapas seguintes: deposita-se por pulverização catódica pelo menos uma camada intermediária de um material escolhido dentro o metal M, um nitreto do metal M, um carboneto do metal M ou um óxido sub-estequiométrico em oxigênio do metal M, a dita camada intermediária não sendo depositada acima ou abaixo de uma camada à base de óxido de titânio, a espessura física da dita camada intermediária sendo inferior ou igual a 30 nm,oxida-se pelo menos uma parte da superfície da dita camada intermediária com a ajuda de um tratamento térmico, durante o qual a dita camada intermediária está em contato direto com uma atmosfera oxidante, notadamente com o ar, a temperatura do dito substrato durante o dito tratamento térmico não ultrapassando 150ºC.