NOVA CONFIGURAÇÃO DE TRATAMENTO POR PLASMA DENOMINADO DE CILINDROS CATÓDICOS (CCY)

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Abstract

NOVA CONFIGURAÇÃO DE TRATAMENTO POR PLASMA DENOMINADO DE CILINDROS CATÓDICOS (CCy). A nova configuração de tratamento por plasma por cilindros catódicos (CCy) proposta por esta patente modifica o atual sistema de deposição por gaiola catódica (CCPD - Cathodic Cage Plasma Deposition) comumente adotado em pesquisas no campo de modificação superficial por plasma. O novo processo denominado de Deposição por Plasma com Cilindros Catódicos (CCyPD - Cathodic Cylinder Plasma Deposition) parte da fabricação de pequenos cilindros de pós-compactados que são posicionados sobre a tampa suporte da gaiola catódica. No processo de deposição, o efeito de cátodo oco ocorre no interior dos cilindros promovendo o arrancamento do material que será combinado com elementos da atmosfera gasosa e/ou depositado sobre a amostra. O CCyPD, portanto, contribui para o estudo de novos revestimentos compostos devido à possibilidade de obtenção e combinação de materiais na forma de pó antes não explorados por limitações na fabricação de gaiolas por meio dos métodos anteriormente adotados.