MÉTODO PARA INSPECIONAR UMA SUPERFÍCIE DE UM COMPONENTE, E, SISTEMA DE INSPEÇÃO PARA INSPECIONAR UMA SUPERFÍCIE DE UM COMPONENTE

IPC Classification

Priority claims

Abstract

São providos métodos e sistemas para inspecionar superfícies de vários componentes, como a avaliação de desvios de altura sobre estas superfícies. Um método envolve agregar dados de inspeção a partir de múltiplos escâneres de linha em uma série de dados combinada. Esta série de dados combinada representa uma porção da superfície que é maior que o campo de medição de qualquer um dos escâneres. Adicionalmente, cada par de escâneres adjacentes opera em diferentes períodos de tempo para evitar interferência. Porque os períodos de operação são deslocados, as porções de superfícies varridas pelo par de escâneres adjacentes podem se sobrepor sem interferência. Esta sobreposição das porções varridas assegura que a superfície inteira seja analisada. A posição dos escâneres em relação à superfície de inspeção pode ser alterada entre as varreduras e, em algumas modalidades, até mesmo durante a varredura. Esta proposta permite a varredura precisa de grandes superfícies.