APARELHO E MÉTODO DE TOMOGRAFIA DE COERÊNCIA ÓPTICA

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Abstract

"APARELHO E MÉTODO DE TOMOGRAFIA DE COERÊNCIA ÓPTICA"A presente invenção refere-se a uma luz de medição com uma ampla banda de comprimento de onda que é usada para fornecer uma excelente imagem tomográfica em resolução vertical. Um aparelho de tomografia de coerência óptica, que adquire uma imagem tomográfica de um objeto a ser inspecionado com base em uma luz de interferência obtida fazendo com que uma luz de retorno a partir de uma luz de medição emitida para o objeto a ser inspecionado seja inspecionada para interferir com uma luz de referência correspondente à luz de medição, inclui: uma primeira unidade de compensação de dispersão tendo uma primeira característica de compensação de dispersão em uma banda de comprimento de onda da luz de medição; uma segunda unidade de compensação de dispersão fornecida na primeira unidade de compensação de dispersão tendo uma segunda característica de compensação de dispersão na banda de comprimento de onda da luz de medição.